域，日系的运气就不如欧系了。”
“从6英寸制程过渡到8英寸的过程中，从G线到I线的技术演进中，两家日本公司犯了一个错误。尼康和佳能计划跳过365nm的i线，直接从465nm的G线过渡到KrF的248nm的激光。”
“这是一个无比超前的计划，如果成功，光刻机将直接进入DUV时代。”
“不过他们低估了DUV的技术难度。两家公司的设备无法顺利通过测试，体积和耗能均非常大，而且没有对应的DUV光刻胶，最终被迫回头，重启365nm的i线设备研发。”
“而ASML却稳扎稳打，他们继续研发了基于I线光源的PAS 5500光刻机，但是将涉及架构更换成了可以改进的新机器架构。”
“这个架构的设计非常灵活，镜头和光源可以快速更换，先期匹配高分辨率i线光源，后期再匹配DUV镜头的KrF激光器，一举取得了先发优势。”
“在晶圆台研发上，PAS 5500也没有一开始就决定到底是使用H型晶圆台，还是长短冲程发动机。而是同样保留了两路适配架构，这是意义非常的方法。”
“PAS 5500这种模块化设计使得客户可以根据不同工艺随意选配不同部件包，可以涵盖了i线和KrF各种光源，4到12英寸各种晶圆尺寸，i线和KrF各种镜头，stepper和scanner各种投影模式。成了所有芯片制造商的梦中情机！”
“你的意思，是我们也要像三星和台积电那样，大量进口这款光刻机？PAS5500现在一台多少钱？”
“PAS5500现在的子型号太多，价格可以从500万美元到700万美元不等。”周至说道：“如果要兼顾我们产业在未来的发展我们需要配置适合加工6英寸，8英寸，12英寸晶圆，光源和镜头适配465nm的G线，365nm的 i线和248nm的KrF三种光源的光刻机。”
“同时我们还得要求飞利浦公司按照对待台积电的标准，对我们开放MEGA生产线的技术学习。”周至说道：“为我们未来自主设计和生产做好准备。”
“三种晶圆，三种光源，三种镜头，组合一下，一样一套都是9套。”胡长风沉吟道：“你的意思我能够明白，我们家底薄，5英寸6英寸的生产线，不可能在引进完8英寸，未来还可能引进12英寸后就不用了，未来国内的中低端芯片，还得依靠中低端光刻机负责生产，起码二三十年都不会淘汰。不
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