25微米，下一个工艺节点就是0.18微米，虽然可以通过现有的光刻机多重曝光来提升制程，但是如果有更好的技术，当然也要一步到位啊。
把浸润式的ArF光刻机研发出来，可以直接用到7纳米！这样在信息技术领域里，就会继续牢牢地掌握世界一流水平！
听到秦亮的话，朱老点头：「好，这两个项目，给你们拨款十亿。」
「朱老，咱们这863计划，怎麽变成西工大主导了？」终於，下面有人发出了不满的声音。
「你们也可以来啊，承诺研发成果，造不出来就退还研发经费。」朱老说道：「如果有这个本事，那咱们就不说什麽了，如果没有，那也别眼红别人，西工大有技术，有担当，为何不能承接更多的项目？」
下面没有人说话了。
「好，接下来，我们说自动化项目，秦校长，还是你们西工大来主导吧，毕竟，自动化技术严重依赖於先进的电子设备，在这个领域里，你们西工大世界第，」