什么？”
李工不以为意，这位毕竟不是搞光学的：“这意味着他的分辨率为9μm。”
9μm？高振东一下子就炸了，这个分辨率，搭配较小的形变，10μm线宽不是梦啊。
“李工，那图像的形变情况怎么样？”
“很小，最大场曲在15μm范围内，最大像散在7μm左右，总体畸变小于1ppm，像面不均匀性小于2%，我想对于你们的要求是完全没有问题的。”李工笑道，对此他也颇为自得。
这个机器，高振东要求的投影直径是160mm左右，1ppm的畸变，意味着不到1μm，这对高振东的想法来说是完全足够了。
高振东哈哈大笑：“李工，太谢谢你们了！辛苦辛苦！”
李工笑道：“能满足你们的要求就好，今天时间也比较晚了，具体的其他事务，我们明天继续怎么样？”
高振东在兴奋中连连点头：“好，今天就不麻烦同志们了，我们明天再继续。”
当天晚上，高振东辗转反侧，想了半个晚上。
第二天一早，高振东带着人，早早的就来到试验室门口，李工已经等在那里了，一行人换好衣服进去。
高振东进去之后，李工开始张罗着叫人用标准掩膜，进行一遍完整的测试，毕竟他昨天说归说，但是完整的测试流程是要走一遍给高振东他们看的，这算是甲方来验收了。
试验一边进行，高振东一边拿着整套光学系统的指标在看，他想看看能不能达到自己的想法。
看着看着，他皱了一下眉头。
“李工，这套系统的透光率，是30%多？”高振东问道。
他没好说“只有30%多”这个话，有点儿不太好。
李工脸上露出了一点儿不好意思的神色：“嗯，355nm这个波长已经进入紫外波长了，透光率天生就比较差，加上材料的原因，就比较难看了。”
紫外线波长是10nm到400nm，能量高，但是穿透性差，这个有点像辐射中的阿尔法射线，能量最高，但是一般常见的阿尔法射线一张打印纸都能挡得住。
这个透光率，还是因为355nm波长比较长，穿透性还没恶化到底的原因。
这让高振东感到有些难办了，这样一来，如果第二步需要微缩投影，加上微缩那一套光学系统，透光率会进一步恶化，虽然那一步是要聚焦的，但是哪怕是现在，这个透光率都已经到了危险的边缘了，激光功率做
…。。