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第六百一十三章 四大巨头的价格战

作品:重生08:从山寨机开始崛起作者:雨天下雨
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产能,去生产成熟便宜,利润也比较低的产品。

所以,海湾科技把HEUV-300B光刻机的价格标的比较高,简单直白的告诉客户:别买这玩意了,来买HEUV-300C啊!

最后客户一算,HEUV-300C虽然贵很多,但是综合使用成本性价比还要更好,所以也不抗拒。

别说智云微电子了,现在中芯采购EUV光刻机,都是采购HEUV-300C型了,只是他们没啥钱,买的很少。

现在的HEUV-300C光刻机还是相当不错的,都能够用来勉强生产等效三纳米工艺的芯片了……智云微电子的第一代三纳米工艺,就是用这款光刻机做的。

当然,只是初步满足等效三纳米工艺的需求,良率以及成本上还是有所不足。

如果要更好,更快,更低成本的制造等效三纳米乃至二钠米等一系列EUV双重曝光工艺的芯片,那么就需要更新型,目前海湾科技那边刚完成原型机研制,还没有开始供货的HEUV-300D!

这是一款套刻精度达到了惊人的1纳米的顶级EUV光刻机,专门为了EUV双重曝光工艺而研发。

不出意外的话,这也将会是HEUV-300系列光刻机的终极产物……因为到这个阶段,光源波长已经没办法缩减了,单次曝光的金属间距被限制在了26纳米左右,用在单次曝光制造五纳米工艺就是极限了。

要制造三纳米工艺的话,就需要进行双重曝光,这也是300D光刻机的主要技术进步特征,进一步缩小了套刻精度,使得双重曝光的良率更高,成本更低。

然后到了二纳米工艺呢?一点五纳米工艺?一纳米工艺呢?

现在的EUV光刻机可就不太好用了。

怎么办?换个方向进一步缩小光刻机的极限金属间隔!

光刻机里,影响光刻精度的参数有好几个,其他几种在DUV光刻机时代基本已经到极限了,EUV光刻机则是使用缩小波长的方式来获得技术进步。

而现在EUV的光源波长技术路线也差不多玩到头后,剩下最后一个可以提升空间的就只有‘NA数值孔径’这么一个参数了。

如HEUV-300系列光刻机里,数值孔径都是统一的0.33!

现在海湾科技那边的下一代光刻机,就是打算在数值孔径上做文章,提升数值孔径,比如放大到0.55甚至更大,进而获得更小的金属间隔。

实现单次曝光就制

…。。
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