不过也有一些问题，我们这一套光源系统里的设计，大量采用了ASML光刻机光源系统的专利技术，具体商用恐怕会很麻烦！”
徐申学道：“专利这个问题我们后头再说，还是那句话，现在是要解决有无问题，专利问题后头再来慢慢解决！”
整个半导体设备以及耗材领域里，仙女山控股虽然做出来了不少成绩，但是侵犯专利的地方多了去……典型的就是光刻胶。
现在的仙女山控股下的企业，其实已经能够做出来满足先进制程工作使用的光刻胶了，但是并没有进行大规模量产使用。
就是因为这玩意几乎是原版抄袭日本方面的光刻胶，专利侵犯的太多了。
而当下也不是什么太极端的大环境，光刻胶进口并没有受到限制，因此智云集团自然也不可能光明正大的侵犯专利进行大规模生产商用的。
目前来说，这个光刻胶存在的意义就是，作为一个备份……当别人制裁智云，不卖给智云光刻胶的时候，能拿出来光刻胶维持生产。
如果不制裁的话，那就继续放着，然后慢慢琢磨着改进绕开专利。
DUV浸润式光刻机也一样的，专利太多了，作为后来者做这东西，侵犯其他厂商的专利是不可避免的。
但是不能因为侵犯专利就不做了。
把这东西做出来，真到了制裁的时候就能直接顶上去使用。
王道林道：“光源系统方面，我们已经算是整合的差不多了，基本达到了技术要求，剩下的还要对其他方面的系统进行整合，核心技术都没什么问题了，很多都是从DUV干式光刻机里转化而来的，主要是一些系统整合上的细节问题，这需要一定的时间来打磨！”
“我们估计着，大概明年上半年，我们就能够拿出来第一台真正的样机进行各种测试。”
徐申学道：“明年的话，也差不多了，现在我们的DUV浸润式光刻机进口还没有受到限制，你这边还有一些时间，继续好好打磨，争取明年弄一台堪用的样机出来！”
“至于大规模商用，因为这个专利问题还需要看整体的环境变化，如果没有太大环境上的变化，可能你们这边就要继续努力解决一些专利问题了！”
“最后，EUV光刻机那边也不能放松了，现在DUV浸润式光刻机都还好，而EUV光刻机的话，按照我的预计是不太可能从外头获得了！”
“这未来我们集团能不能用上EUV光刻机，能不能进军未来的先进制程领域
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