拖延了。
高怀钧无奈，但也没法。
因为光刻机这玩意儿，最大的难点是三个。
一个是光源。
要产生 13.5纳米波长的极深紫外光，目前的做法是用高功率的激光轰击一个直径只有三千万分之一米的小锡球（就是金属锡的锡）。
这种激光器全世界只有一家德意志国公司能生产，这家叫通快的德意志国公司用了十年时间才研发成功，单单是这台激光器就有 45700多个零件。
但没想到的是，通快公司的这台激光器又依赖于一家立陶宛的公司提供关键设备，没有这家立陶宛公司制造的光源设备，通快公司也不行。
下一个难关是如何把这种极深紫外光收集起来，形成一束极深紫外光的激光。
光学系统。
为 EUV研制的这套光学系统全世界也只有一家德意志国公司能制造，它就是大名鼎鼎的蔡司公司。
蔡司生产的相机镜头是世界上最好的镜头之一，可是相机镜头与 EUV光学系统用的镜头比起来，那就好像是螺旋桨撒农药的飞机和喷气式战斗机的差别了。
这套光学系统至少涉及以下这些技术挑战：高精度非球面加工，多层膜反射镜，高质量熔炼，离子束抛光技术，极限精度磨制。
最终的目标是要制作出一片绝对光滑平整的镜片，要光滑到什么程度呢？
就是三体中水滴的那种光滑程度，镜片的起伏就是大约一个原子的误差，接近理论上的物理极限。
如果用蔡司自己的宣传比喻，就是把这片镜片放大到整个德意志国那么大，起伏也没超过 0.1毫米。
如果一个病毒落在这片镜子上，那就好像拔地而起一座百米小山。
最后一个是控制台。
这就是精密仪器工作台。
为了把几百亿个晶体管刻成，需要一个精度极高极高的控制台，这个控制台由 55000个高精度的零件构成，而这些零件又至少依赖于岛国，寒国，呆弯，美丽国，德意志以及贺兰等国家提供的专利技术，少了任何一个都不行。
现在这台光刻机需要做到自主可控，就不是以1敌1，而是以一敌众了！
以前工信部对于这台05专项的光刻机也不是很上心。
因为光刻机的市场规模就是那么一点点大，但ASML一家公司已经依仗自己的技术能力，占据了光刻机市场90%以上市场份额。
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