花白的眉毛瞬间拧成了疙瘩。
“理论上是可行！但那是要在完美设备上才能实施的极限微操！我们现在这台伏羲一号…自己走直线都打飘！用它迭曝？层数一多，任何一丁点套刻对准偏差，都会层层放大！误差累积下来，就是一场灾难！良率…会惨不忍睹！”
“我们没时间打磨设备了！”
袁涛的声音嘶哑，带着破釜沉舟的决绝。
“就用笨办法！堆层数！
一次对准误差可能超15nm，那我们就牺牲更大范围，用更繁琐的五层、甚至六层曝光！用设计冗余把线路加粗加宽！硬生生把平均套刻误差压下去！
靠工艺复杂性去逼近7nm的物理线宽！苏总，这是目前我们唯一可能够得着的路了！风险大我知道！失败几率超过九成我也知道！可总比现在原地等死强！”
所有目光都聚焦在沉默的苏定平身上。会议室的空气粘稠得如同铅汞。
苏定平看着投影屏上那张被标记为五层光刻掩模版、线条堆迭得如同乱麻、结构臃肿得如同拼凑补丁般的7nm测试芯片结构图。
那张图，就像个绝望者病急乱投医、强行制造出来的怪物！丑陋！低效！违背常规设计的简洁和高效美学！
但他更知道袁涛没说错。没有时间了！
“干！”
苏定平猛地一掌拍在桌子上，合金桌面发出一声沉闷的呻吟，震得虚拟烟灰缸里的像素都跳了一下。
他的声音斩钉截铁。
“立刻组建迭影攻坚组！袁涛任现场技术总监！按照五层曝光方案实施！哪怕成功率只有万分之一！只要还有一丝可能造出符合7nm节点特征尺寸的晶体管！
这条路就给我走下去！失败？废品？烧钱？算我的！所有责任后果我一人承担！目标只有一个——打通这条带血的路径！给烛龙堆芯！送去能搏动的心！”
接下来的日子，龙芯实验室如同进入了某种惨烈的、自我消耗的绞肉机模式。
每一次五层曝光，都是对设备稳定性、工艺精密度、工程师神经极限的一次地狱级考验！
涂胶…对准…曝光！
再换掩模…再涂底层抗反射涂层…再对准…再曝光！
如此反复五次！
实验室里弥漫着一种近乎疯狂的气息。操作员的眼睛几乎长在对准仪的视窗上，每一次微调都屏住呼吸，手心全是冷汗。
空气中充满了各种光刻胶溶剂、显影液以及
…。。