初几批小规模流片,良品率也摸到了43%的坎!大家加班加点改进,指望着冲到60%,结果呢?!
这数字竟像断了线的风筝一般,直坠深渊,跌破了20%的底线!
这对量产计划是毁灭性的打击!意味着生产成本剧增,交付时间无限期拖延!
“原因!”
苏定平的声音冰冷得像西伯利亚的冰川。
“初步判定……是……硅片基材的问题!”
袁涛猛地将报告拍在旁边的控制台上。
“苏定平!我们被耍了!雄鹰给的那批12英寸珍稀硅片,全他妈是回收翻新的工业垃圾!甚至是实验室报废品熔了重拉出来的次等货!”
他的声音带着技术工作者被亵渎专业和智慧的极致愤怒!
他指着旁边一个打开的、装着所谓“高端货”的特制硅片盒。
“你看这边缘色泽!正常超高纯硅片在切割后经过极致打磨和清洗,边缘应该呈现出一种深邃、近乎水晶镜面的光泽!但这批货的边缘打磨毛糙得像个新手干的活!而且整体色泽偏黄!”
袁涛的声音因为愤怒而拔高,充满了切齿的恨意。
“这是硅片内部氧化浓度过高的清晰证据!
他们掺了劣质的回收硅源!或者热处理氧化工艺根本没做到位!
这样的硅片内部充斥着非晶态区域、氧缺陷团簇、金属杂质浓度超标!用它做晶圆基板,上面的原子级微观晶体结构都是歪的!不稳固的!
在后续高温沉积、光刻、蚀刻等高能耗工序冲击下,这些缺陷会被十倍百倍地放大!直接撕裂原子级图形!良品率暴跌就是铁的证明!
这他妈就是一堆裹着糖衣的毒药!是雄鹰在给我们的敲门砖里埋了脏弹!”
操作员默默地将一块蚀刻后的晶圆片小心翼翼递到观察窗前。在那高倍率的电子显微镜下,本该精密刻蚀出的250nm线条阵列,此刻赫然布满了触目惊心的断裂、扭曲、堆迭、短路!
整个图案模糊不清,如同一个醉汉在雪地上的涂鸦!而罪魁祸首,正是晶圆内部那如同蛛网般延伸的晶格缺陷和微观杂质!
“这他妈……”
一个年轻的研究员看得眼眶都红了。
“这帮狗娘养的……太欺负人了……”
有人低声咒骂着。
耻辱!
欺骗!
明明白白的羞辱!
苏定平静静地看着电子
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