丁耀先指了指面前的几台设备：“症状就是套刻误差大，但没有任何规律。这几台设备都出过问题，又不是每次都会出现。有时连着十几个批次都没事，突然冷不丁来一下，一批晶圆片就全废了，太头疼了。”
他倒宁愿问题出一台固定机器上，哪怕几率再高点儿。
这种随机出现在各条产线上的问题，才最影响生产管理。
“套刻误差是什么？”韩路一接着问。
丁耀先看了韩路一一眼。
不是，你连套刻误差都不知道？是来干什么的？
但他知道这位韩总本职做软件出身，还是耐心解释：“上次咱们讲过，冰芯的七纳米制程是通过多重曝光技术实现的。一次曝光之后要重新对齐，用新图案再曝光一次，这就是套刻。套刻之间的误差要控制在纳米级，不然出来的图案就废了。”
听到这儿，韩路一知道问题棘手在哪了。
拼接本身是个问题，更严重的是随机出现。
如果每次曝光都出问题，那说明拼接算法不对，要打回去重做；可如果是随机出现，就说明拼接算法没问题，那问题从哪儿来？
韩路一开着视界扫了一圈。
整个厂房各个物品的标签都弹了出来。
先是眼前的巨兽：
【设备：ASML TWINSCAN NXT系列浸没式DUV光刻机】
【状态：健康】
【驱动软件：ASML原生驱动】
旁边的生产线：
【设备：前道全自动涂胶显影机】
【状态：健康】
【驱动软件：原厂驱动】
看起来都没什么问题。
旁边的丁耀先又补了几句：“韩总，您是不知道，能查的地方我们都查了：镜片的温差畸变、原料光刻胶的批次活性，甚至连旁边有车辆路过时厂房的微震动都检测了，全都没有相关性。”
说完他叹了口气：“出现这种状况，要是以前早就请原厂工程师来了；可现在售后全断了，他们的工程师过不来不说，连远程诊断也做不到。”
听起来就像个密室杀人事件。
如果硬件都没问题，那就是软件了？
售后断了，现在用的是什么软件？
韩路一把心里的疑问问了出来。
“是我们自研的管理系统，但已经用了快两年，肯定不是这儿的问题。”丁耀先一听就明白
…。。